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實驗現場
實驗內容：ALD實驗
臭氧機型：NANO15,3S-J5000
某研究所ALD用臭氧發生器150mg/L
nano15臭氧發生器，體積小，臭氧產量15g/h，濃度高，非常適合ALD實驗使用。
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